Ingot XRD SiC

自動化碳化硅晶錠粘接定向儀

Enables existing equipment to reach high-end OD/Notch specs.

可使現(xiàn)有設(shè)備達到高要求的外徑 / 切口規(guī)格要求。      

Evolutionize your ingot post glueing preparation: Automated, precise and modular

革新晶錠粘膠后預(yù)處理流程：自動化、高精度、模塊化

Materials

材料

The Ingot XRD SiC delivers high-throughput and precision for the efficient production of advanced SiC wafers.

Ingot XRD SiC 兼具高產(chǎn)能與高精度，助力碳化硅晶圓高效生產(chǎn)

Features & Benefits

重要特性與重要價值:  

Advantages of the Omega-Scan Method

Omega-Scan 方法重要優(yōu)勢 （Freiberg Instruments 重要技術(shù)）：

---Stable and Simplified Setup

The X-ray tube and detector remain fixed, requiring only a single measuring circle and no monochromator.

穩(wěn)定便捷的安裝調(diào)試

X 射線管與探測器固定不動，只需單次測量周期，且無需單色儀。

---Comprehensive Data Collection

All necessary data for full orientation determination is captured in just one rotation.

全方面數(shù)據(jù)采集

單次旋轉(zhuǎn)即可采集全定向測定所需全部數(shù)據(jù)。

--High Precision with Minimal Measurement Time

The method delivers exceptional accuracy within a short measurement duration.

高精度?測量耗時短

短時間內(nèi)即可實現(xiàn)優(yōu)異精度。

These features make the Omega-Scan method particularly well-suited for routine measurements and industrial applications, where speed and reliability are essential.

憑借這些特性，Omega-Scan 方法尤為適配常規(guī)測量與工業(yè)應(yīng)用場景 —— 這類場景對速度與可靠性有著重要要求。

Understanding the Omega-Scan Method

解讀 Omega-Scan 方法

The Omega-Scan technique involves rotating the specimen 360° around a specific axis, such as the surface normal. The X-ray source and detector are positioned based on the crystal type to ensure an optimal number of reflections per turn. By analyzing the angular positions of these reflections, the crystal lattice orientation is determined in relation to the rotation axis.

Omega-Scan 技術(shù)的工作原理為：將試樣繞某一特定軸（如表面法線）完成 360° 旋轉(zhuǎn)，X 射線源與探測器則根據(jù)晶體類型進行定位，以確保每圈旋轉(zhuǎn)均可獲得優(yōu)異的反射次數(shù)。通過分析這些反射信號的角度位置，即可確定晶格取向相對于旋轉(zhuǎn)軸的具體方位。

To precisely align the lattice orientation with the crystal surface, a laser beam checks the surface direction. Other relevant reference planes or directions can also be measured using optical tools. This technique enables accurate orientation measurement of single crystals in any configuration, achieving a reproducibility within a few arc seconds—often in just a few seconds of measurement.

為精確校準晶格取向與晶體表面的對位關(guān)系，激光束會對晶體表面方向進行檢測。其余相關(guān)參考平面或方向，亦可通過光學(xué)工具完成測量。

該技術(shù)可實現(xiàn)對任意形態(tài)單晶的高精度取向測量，重復(fù)性精度控制在數(shù)角秒范圍內(nèi) —— 且單次測量耗時通常只需數(shù)秒。

A specialized application of the Omega-Scan method is precision lattice-parameter determination, particularly for cubic crystals, providing highly accurate structural insights.

Omega-Scan 方法的一項專業(yè)應(yīng)用方向為高精度晶格參數(shù)測定，該應(yīng)用尤其適用于立方晶體，可提供高精度的晶體結(jié)構(gòu)解析能力。

User-Friendly and Advanced Operating Software

自動化碳化硅晶錠粘接定向儀人性化操作軟件

多種操作模式

操作員模式：采用固定測量參數(shù)設(shè)計，保障操作流程安全高效。

管理員模式：支持測量配方的創(chuàng)建與修改，可針對新型材料調(diào)整參數(shù)。

直觀引導(dǎo)式操作界面

確保不同經(jīng)驗水平的用戶，均可享受到流暢高效的操作流程。

預(yù)設(shè)配方與自定義配方雙模式

既可從豐富的現(xiàn)成配方中直接選用，也可根據(jù)特定需求創(chuàng)建專屬配方。

測量結(jié)果與修正值自動顯示

可即時查看測量結(jié)果，同步自動生成修正值，助力晶格取向精確調(diào)校。

圖譜分析功能

搭載圖譜分析功能，賦能高精度測量分析工作。

數(shù)據(jù)導(dǎo)入導(dǎo)出功能

可輕松完成數(shù)據(jù)導(dǎo)入導(dǎo)出，便于數(shù)據(jù)共享及與其他系統(tǒng)的集成對接。