?產(chǎn)品介紹

德國(guó)弗萊貝格儀器的XRD-OEM(在線X射線衍射儀--X射線單晶定向儀)，主要用于對(duì)晶體的定向以及切口/平面形狀和位置的測(cè)量。

XRD-OEM(在線X射線衍射儀--X射線單晶定向儀)可以直接集成到研磨或鋸切設(shè)備中使用，將測(cè)量過(guò)程整合到工業(yè)生產(chǎn)中，解決了由于加工設(shè)備和定向測(cè)量過(guò)程分開(kāi)而造成的定向誤差等行業(yè)難題。

?XRD-OEM的特點(diǎn)

 --可以集成任何自動(dòng)化或處理系統(tǒng)且適用于環(huán)境(研磨、鋸切)

 --緊湊、標(biāo)準(zhǔn)的工業(yè)接口

 --獨(dú)立定位測(cè)量，可測(cè)量平面或圓周

 --光學(xué)等級(jí)檢測(cè)

 --解決了行業(yè)難題:

     -如果加工設(shè)備和定向測(cè)量是分開(kāi)的，那么就會(huì)因?yàn)闃悠忿D(zhuǎn)移

      而造成定向誤差

     -市場(chǎng)對(duì)于準(zhǔn)確對(duì)齊的晶圓的需求量越來(lái)越大

 --將測(cè)量過(guò)程整合到工業(yè)生產(chǎn)中（研磨或鋸切）

?技術(shù)參數(shù)

 --可測(cè)量材料：硅，碳化硅，砷化鎵及更多

 --樣品尺寸：鋼錠直徑450毫米

 --冷卻：空氣，低噪音

 --可能的用途：在鋸/磨/平/缺口檢測(cè)前對(duì)大型晶錠進(jìn)行預(yù)對(duì)準(zhǔn)

?應(yīng)用實(shí)例

 硅錠取向:

 --磨削前對(duì)平面和缺口位置的檢測(cè)

 --樣品直徑可達(dá)8 "，長(zhǎng)度可達(dá)40厘米

?XRD-OEM適配普遍的打磨設(shè)備

 無(wú)需移動(dòng)樣本即可進(jìn)行定向，可與打磨產(chǎn)線相結(jié)合直接進(jìn)行在線檢測(cè)

可以直接集成到基礎(chǔ)機(jī)圓磨床72/856上